Mit Multilayer-Optik und Grazing Incidence Optics unterstützt die optiX fab GmbH in Jena die Entwicklung und Herstellung von EUV-, Soft-X-Ray- und XUV-Optiken. Das Unternehmen beliefert weltweit Chiphersteller, EUV-Werkzeug- und Quellhersteller... sowie Forschungsinstitute und Universitäten mit maßgeschneiderten Lösungen für Lithographie-Anwendungen bei 13,5 nm. Zu den Hauptprodukten zählen EUV-Spiegel, Soft-X-Ray-Spiegel und XUV-Spiegel in verschiedenen geometrischen Formen und Materialien. Die moderne Einrichtung umfasst 2.500 Quadratmeter Labor- und Bürofläche sowie einen ISO 5 Reinraum, der optimale Bedingungen für die Fertigung der hochpräzisen Optiken sicherstellt. Die Kombination aus technologischem Know-how und innovativen Produktionsmethoden ermöglicht die Anpassung der Spiegel an spezifische Anforderungen der Kunden.
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