Entwicklung und Herstellung von THz Mikroproben und hochauflösenden Imaging-Anwendungen prägt das Leistungsspektrum im Bereich der THz Technologie. Zu den Verfahren zählen THz Zeitbereichsspektroskopie, hochauflösende Nahfeldmessungen sowie die... kontaktlose, nicht-destruktive Probenanalyse. Protemics GmbH nutzt diese Technologien zur Inspektion von dünnen Filmen, zur Chip-Prüfung und zur Charakterisierung von Halbleitermaterialien. Eine Besonderheit ist die erste Anwendung von Terahertz Nahfeld Mikroproben für die Inline-Inspektion in Halbleiterfertigungen. Das Team setzt sich aus erfahrenen Fachleuten zusammen, darunter Dr. Michael Nagel, Simon Sawallich und Alexander Michalski, die gemeinsam an der Weiterentwicklung dieser Technologien arbeiten.
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